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超精密研磨技术的现状及发展趋势
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技术的原理、 应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及_数据库系统控制的Nanopol i -100 智能型纳米级抛光机,结合该领域的_新研究成果,提出了其向高精度、 _率发展的方向。
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超精密研磨技术的现状及发展趋势
概述了_近超精密研磨技术的研究动态,介绍了研磨技术的原理、 应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及_数据库系统控制的Nanopol i -100 智能型纳米级抛光机,结合该领域的_新研究成果,提出了其向高精度、 _率发展的方向。
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