微研磨的特点
可减少加工力
对微研磨来说, 减少加工力是非常重要
的, 这一点在机械加工中, 研磨_为突出。研
磨加工是一种利用磨具的多个研磨颗粒切削
刃进行微细切削, 去除加工物的方法。因此,
可进行非常精密的切削, 从而减少加工力
。
可实施高精度加工
在去除加工中, 加工精度与单位切削量
密切相关, 对于_精加工, 要求切削量_是
_微切削。
研磨可以满足这种要求。
当要求机械部件达到_的形状精度
时, 通常形状精度部件尺寸
、光洁度部件尺寸这样的相对精度被视为是很重要的
。对于部件尺寸非常小的微型部件, 要求具有很好
的表面光洁度和形状精度。譬如与将直径1m
的圆棒精加工成圆度为10um。拼 的柱体相比,
即使将直径10mm 的圆棒精加工成圆度为
1um 的柱体, 其相对精度还不到一个量级。
高精度加工是微型部件加工的重要特性
。 不受工件材料限制
因属机械性加工, 故也可对不适于放电
加工的非导电性材料进行加工
。利用磨具, 还可对无法切削的高硬度材料进行加工。这样,
便拓宽了部件材料的选择范围。此外, 还可对
硅加工技术难以实现的高纵横比部件、三维
形状部件进行加工。
在机械加工方法当中, 微
研磨作为微型部件的加工方法, 被认为是_
有希望的
。